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Formfactor/Cascade HPD 4K 低温探针台-超导设备测试测量

产品详情


产品简介

HPD 4 K 低温晶圆探针台是一种高精度全自动探针台,适用于 4 K 环境中的 150 毫米和 200 毫米晶圆。为了加速商用量子和超导计算机的实现,我们为芯片开发人员提供了智能迭代设计所需的工具。 4 K 低温晶圆探测器集成了可配置的 DC 和 RF 电缆,以及可用于测试配置的最大灵活性的定制探针卡。具有集成磁屏蔽的稳健设计提供了必要的稳定环境条件,以确保为最敏感的超导设备提供最高质量的数据。全自动晶圆装载和复杂的Velox软件套件允许进行高吞吐量测试和无人值守操作,以快速获取数据。 FormFactor 的长期探测专业知识和数十年的精密低温经验在该系统中相结合,将超导设备测试和测量从实验室带入晶圆厂


产品特性

  • 晶圆温度验证 <4.5 K(44 个射频探头接触)

  • 磁场抑制<200 nT

  • 高度均匀的晶圆温度

  • 精确的热稳定性和控制

  • 坚固的花岗岩底座结构可实现精确的运动和振动控制

  • 轻松更换可定制的探针卡

  • 全自动或手动晶圆装载选项

  • 用于手动、半自动或全自动探测的完整软件套件

产品应用

量子计算

超导芯片开发

量子信息科学


规格参数

晶圆尺寸

150毫米和200毫米

行程

+/- 112 mm XY, 0 - 13 mm Z +/- 10°Theta   

运动分辨率

<1 μm XYZ<0.0001°Theta

XY速度

25mm /s   

显微镜

50 mm XYZ分辨率<3 μm   

最低温度

晶片温度<4.5 K,有44个射频探头接触

测量通道

56 RF连接(最高18ghz)520DC   

晶片容量

25片,晶片之间的交换时间小于15分钟

静止磁场

<200 nT   



产品参考 下载


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