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Apreo 2 SEM扫描电子显微镜

Apreo 2 SEM扫描电子显微镜
产品详情


产品简介

新的 Thermo Scientific Apreo 2 SEM 经扩展可访问高性能成像以及针对所有级别显微镜专业知识的分析。凭借 Thermo Scientific ColorSEM 技术,一种独特的实时元素成像功能,可以通过最直观的界面随时获得组分信息。ColorSEM 技术消除了与典型 EDS 实施相关的所有麻烦,为您提供前所未有的结果时间和易用性。

凭借 Thermo Scientific SmartAlign 技术(一种光学系统、可以自己对齐),Apreo 2 SEM 对用户和实验室管理人员提出了更小的要求。此外,Apreo 2 SEM 采用 Thermo Scientific FLASH 技术,可实现图像微调过程的自动化。FLASH 技术对镜头居中、消像散器和图像的最终焦点执行任何必要的校正。这些技术的组合意味着电子显微镜的新用户可以获得 Apreo 2 SEM 的高端性能。此外、Apreo 2 SEM 是唯一一款在 10 mm 分析工作距离具备 1 纳米分辨率的 SEM。


产品特性

  • 范围广泛的样品类型

  • 实时定量 EDS

  • 长工作距离

  • SmartAlign 技术


产品应用

半导体失效分析


规格参数


Apreo 2S

Apreo 2C

分辨率

1 kV 下 0.9 nm

1 kV 下 0.8 nm(光束减速)

1 kV 下 1.0 nm、工作距离为 10 mm (光束减速)

500 kV 下 0.8 nm(光束减速)

200 kV 下 1.2 nm(光束减速)

1 kV 下 1.2 nm

1 kV 下 1.0 nm(光束减速)

500 kV 下 1.2 nm(光束减速)

标准检测器

ETD、T1、T2、T3、IR-CCD、Nav-Cam+

ETD、T1、T2、IR-CCD、Nav-Cam+

可选检测器

DBS、LVD、DBS-GAD、STEM 3+、RGB CLD、EDS、EBSD、WDS、拉曼、EBIC 等。

着陆能量范围

20 eV – 30 keV

载物台偏倚(光束减速)

-4000 V 至 +600 V 标准(每个系统)

低真空模式

可选:10 – 500 Pa 腔室压力

载物台

5-轴电动共心载物台,110 x 110 mm2,105° 倾斜范围。最大样品重量:未倾斜位置,5 kg。

最大射束电流

50 nA(也可配置为 400 nA)

腔室

340 mm 内宽,12 个端口,最多三个同步 EDS 检测器(两个在 180° 处)、共面 EDS/EBSD 与载物台的倾斜轴正交



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