产品简介
射频发生器是产生等离子体的能量来源。它将标准的50/60Hz交流线路电源转换为13.56MHz射频信号。并加到密闭腔室内的一组电极上，将腔室中的一些气体分子电离为化学反应原子、离子和自由基组成的低温等离子体。
射频发生器具有内置的安全功能，以保护功率晶体管免受过度反射功率的影响，并调节输出功率。
等离子体可以用于加工材料的表面以进行清洁、蚀刻、剥离和/或活化。
射频发生器包含反射功率和散热器温度控制程序。在打开射频电源之前，控制程序确保腔室中的压力在可接受的范围内。这可防止对匹配网络造成损坏。
产品特性
可用气体
铝制或陶瓷腔室：空气，氩气，氧气，一氧化二氮，四氟化碳，氦气
玻璃腔室：空气，氩气，氧气，一氧化二氮，四氟化碳
质量流量控制计 最多至6路气体
工艺压力 200-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流量)
抽真空时间 大约1分钟 (取决于真空泵)
射频电源 风冷13.56MHz,600 瓦(标准配置)
供给需求电源 220V 单相, 50Hz
工艺气体 输入压力 1-2 bar
吹扫气体 输入压力 1-2 bar
压缩空气 输入压力 4-6 bar
产品应用
有机、金属和复合基底的表面改性和清洗
